專業無塵室、防靜電地板、全室銅管導電、溫溼度維持
專業防靜電地板、環境、排風、銅管導電地板設計半導體潔淨室
進入靜電維護作業區須通過除靜電門,確保作業區之靜電值維持在一定範圍
進入靜電維護作業區前的第一個通道,去除人體自帶的靜電值
嚴密監控靜電維護區之溫度及濕度